型号 |
FVA2515S |
FVA3020S |
FVA4030S |
||
测量行程(mm) |
250 x 150 x 200 |
300 x 200 x 200 |
400 x 300 x 200 |
||
外形尺寸(mm) |
750 x 575 x 1650 |
805 x 635 x 1650 |
931 x 735 x 1650 |
||
重量(kg) |
230 |
300 |
380 |
||
工作台承重(kg) |
30 |
30 |
30 |
||
运动控制 |
全闭环四轴自动控制 |
||||
测量精度(μm) |
X/Y轴 |
E2 = (1.5 + L/200) |
|||
Z轴 |
E1 = (3.0 + L/200) |
||||
最大速度(mm/s) |
X/Y轴 |
300 |
|||
Z轴 |
200 |
||||
光源控制 |
表面光 |
五环八区四十项程控式LED冷光源 |
|||
轮廓光 |
程控式LED平行冷光源,256级可调 |
||||
同轴光 |
可选配 |
||||
放大倍率 |
光学放大0.7 ~ 4.5x,影像放大22 ~ 145x |
||||
影像系统CCD |
高灵敏度高分辨率1/2” 黑白/彩色CCD |
||||
光栅尺 |
分辨率0.1μm Renishaw光栅尺 |
||||
软件 |
FRIMS专用测量软件(FVA-S版) |
||||
工作环境 |
温度 |
20±2℃ |
|||
湿度 |
30% ~ 80% |
||||
振动 |
<0.002g, 低于15Hz |
||||
电源 |
210V ~ 230V, 50Hz/60Hz |
||||